使用气体：Ar+O2，C3F6，CF4电源装置：射频发生器300W，600W，1KW输出功率：10KW输出电压：10KVP输出频率：20-60KHz额定电压：3φ AC 220V,50A控制模式：远程，...
| 使用气体：Ar+O2，C3F6，CF4 |
| 电源装置：射频发生器300W，600W，1KW |
| 输出功率：10KW |
| 输出电压：10KVP |
| 输出频率：20-60KHz |
| 额定电压：3φ AC 220V,50A |
| 控制模式：远程，本地，主机 |
| 接口：37PinD-sub |
| 尺寸：177(长)*483(宽)*610(高)毫米 |
| 重量：37kg |
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